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UV를 이용한 giga급 반도체 제조공정상의 오염제어기술 = Contamination control by UV in giga-grade semiconductor processes
표제/저자사항
UV를 이용한 giga급 반도체 제조공정상의 오염제어기술 = Contamination control by UV in giga-grade semiconductor processes / 유경훈, 김용진
형태사항
p. 16-25; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 19卷 8號(2002년 8월), p. 16-25 19:8<16 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 유경훈, 한국생산기술연구원 에어로졸·필터연구실 E-MAIL: khyoo@kitech.re.kr
저자: 김용진, 한국기계연구원 열유체시스템 연구부
저자: 유경훈, 한국생산기술연구원 에어로졸·필터연구실 E-MAIL: khyoo@kitech.re.kr
저자: 김용진, 한국기계연구원 열유체시스템 연구부
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
