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Hot plate 신뢰성 시험·평가시스템 개발 = Reliability evaluation system of hot plate for photoresist baking
표제/저자사항
Hot plate 신뢰성 시험·평가시스템 개발 = Reliability evaluation system of hot plate for photoresist baking / 송준엽, 송창규, 노승국, 박화영
형태사항
p. 180-186; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 19卷 8號(2002년 8월), p. 180-186 19:8<180 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 송준엽, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 송창규, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 노승국, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 박화영, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 송준엽, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 송창규, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 노승국, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 박화영, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
