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나노임프린트 리소그래피 기술 동향 = Trend of nanoimprint lithography technology
표제/저자사항 나노임프린트 리소그래피 기술 동향 = Trend of nanoimprint lithography technology / 정준호, 신영재, 이응숙, 황경현
형태사항 p. 15-22; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 20권 3호(2003년 3월), p. 15-22 20:3<15 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 정준호, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부 E-MAIL: jhjeong@kimm.re.kr
저자: 신영재, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
저자: 황경현, 한국기계연구원
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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