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소프트 리소그래피 기술 동향 = Trends of soft lithography technology
표제/저자사항 소프트 리소그래피 기술 동향 = Trends of soft lithography technology / 신영재, 조정대, 이응숙
형태사항 p. 5-11; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 20권 4호(2003년 4월), p. 5-11 20:4<5 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 신영재, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부 E-MAIL: yjshin@kimm.re.kr
저자: 조정대, 한국기계연구원 첨단산업기술연구부
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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