기사
평면 스테이지의 이동자 접촉 배제를 위한 반발식 / 흡인식 자기 부상 = Repulsive & attractive type magnetic levitation for mechanical isolation of the planar stage mover
표제/저자사항 평면 스테이지의 이동자 접촉 배제를 위한 반발식 / 흡인식 자기 부상 = Repulsive & attractive type magnetic levitation for mechanical isolation of the planar stage mover / 정광석, 이상헌, 백윤수
형태사항 p. 76-83; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 20권 4호(2003년 4월), p. 76-83 20:4<76 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 정광석, 국립 충주대학교 기계공학과 E-MAIL: ksjung@chungju.ac.kr
저자: 이상헌, 연세대학교 기계공학과 대학원
저자: 백윤수, 연세대학교 기계전자공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로