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초미세 공정 및 장비 기술의 국가 기술 로드맵 = (The)national technology roadmap of nano-scale processing and equipments
표제/저자사항 초미세 공정 및 장비 기술의 국가 기술 로드맵 = (The)national technology roadmap of nano-scale processing and equipments / 이응숙, 박철우
형태사항 p. 19-24; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 20권 12호(2003년 12월), p. 19-24 20:12<19 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부 E-MAIL: les648@kimm.re.kr
저자: 박철우, 한국산업기술대학교 기계공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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