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나노 임프린트 공정에서의 기계적 물성 측정 = Mechanical property measurement in nano imprint process
표제/저자사항 나노 임프린트 공정에서의 기계적 물성 측정 = Mechanical property measurement in nano imprint process / 김재현, 이학주, 최병익, 강재윤, 오충석
형태사항 p. 7-14; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 21권 6호(2004년 6월), p. 7-14 21:6<7 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 김재현, 한국기계연구원 구조연구부 마이크로응용역학그룹 E-MAIL: jaehkim@kimm.re.kr
저자: 이학주, 한국기계연구원 구조연구부 마이크로응용역학그룹
저자: 최병익, 한국기계연구원 구조연구부 마이크로응용역학그룹
저자: 강재윤, 한국기계연구원 구조연구부 마이크로응용역학그룹
저자: 오충석, 금오공과대학 기계공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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