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유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술 = Micromachining thin film using femtosecond laser photo patterning of organic self-assembled monolayers
표제/저자사항 유기 자기조립 단분자막의 레이저 포토 패터닝을 이용한 박막 미세 형상 가공 기술 = Micromachining thin film using femtosecond laser photo patterning of organic self-assembled monolayers / 최무진, 장원석, 김재구, 조성학, 황경현
형태사항 p. 160-166; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 21권 12호(2004년 12월), p. 160-166 21:12<160 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 최무진, 한국기계연구원 나노공정그룹 E-MAIL: moojin@kimm.re.kr
저자: 장원석, 한국기계연구원 나노공정그룹
저자: 김재구, 한국기계연구원 나노공정그룹
저자: 조성학, 한국기계연구원 나노공정그룹
저자: 황경현, 한국기계연구원 나노공정그룹
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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