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레이저 빔 단면확대를 이용한 나노 복화(複畵)공정의 패턴 정밀도 향상에 관한 연구 = Fabrication of precise patterns using a laser beam expanding technique in nano-replication printing(nRP) process
표제/저자사항
레이저 빔 단면확대를 이용한 나노 복화(複畵)공정의 패턴 정밀도 향상에 관한 연구 = Fabrication of precise patterns using a laser beam expanding technique in nano-replication printing(nRP) process / 박상후, 임태우, 양동열, 이신욱, 공홍진
형태사항
p. 175-182; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 1호(2005년 1월), p. 175-182 22:1<175 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 박상후, 한국과학기술원 기계공학과 대학원
저자: 임태우, 한국과학기술원 기계공학과 대학원
저자: 양동열, 한국과학기술원 기계공학과 E-MAIL: dyyang@kaist.ac.kr
저자: 이신욱, 한국과학기술원 물리학과 대학원
저자: 공홍진, 한국과학기술원 물리학과
저자: 박상후, 한국과학기술원 기계공학과 대학원
저자: 임태우, 한국과학기술원 기계공학과 대학원
저자: 양동열, 한국과학기술원 기계공학과 E-MAIL: dyyang@kaist.ac.kr
저자: 이신욱, 한국과학기술원 물리학과 대학원
저자: 공홍진, 한국과학기술원 물리학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
