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상온저압 나노임프린트 리소그래피 기술 = Room-temperature and low-pressure nanoimprint lithography technology
표제/저자사항 상온저압 나노임프린트 리소그래피 기술 = Room-temperature and low-pressure nanoimprint lithography technology / 정준호, 이응숙
형태사항 p. 7-15; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 2호(2005년 2월), p. 7-15 22:2<7 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 정준호, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부 E-MAIL: jhjeong@kimm.re.kr
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형정밀기계연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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