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FIB를 이용한 마이크로 플라즈마 전극 개발 = Development of micro plasma electrode using focused ion beam
표제/저자사항 FIB를 이용한 마이크로 플라즈마 전극 개발 = Development of micro plasma electrode using focused ion beam / 최헌종, 강은구, 이석우, 홍원표
형태사항 p. 175-180; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 5호(2005년 5월), p. 175-180 22:5<175 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 최헌종, 한국생산기술연구원 나노가공팀
저자: 강은구, 한국생산기술연구원 나노가공팀
저자: 이석우, 한국생산기술연구원 나노가공팀
저자: 홍원표, 한국생산기술연구원 나노가공팀 E-MAIL: wonpyodr@kitech.re.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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