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레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조 = Laser-induced chemical vapor deposition of tungsten micro patterns for TFT-LCD circuit repair
표제/저자사항
레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조 = Laser-induced chemical vapor deposition of tungsten micro patterns for TFT-LCD circuit repair / 박종복, 김창재, 박상혁, 신평은, 강형식, 정성호
형태사항
p. 165-173; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 8호(2005년 8월), p. 165-173 22:8<165 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 박종복, 광주과학기술원 대학원 기전공학과
저자: 김창재, LG 전자 생산기술원
저자: 박상혁, LG 전자 생산기술원
저자: 신평은, LG 전자 생산기술원
저자: 강형식, LG 전자 생산기술원
저자: 정성호, 광주과학기술원 기전공학과 E-MAIL: shjeong@gist.ac.kr
저자: 박종복, 광주과학기술원 대학원 기전공학과
저자: 김창재, LG 전자 생산기술원
저자: 박상혁, LG 전자 생산기술원
저자: 신평은, LG 전자 생산기술원
저자: 강형식, LG 전자 생산기술원
저자: 정성호, 광주과학기술원 기전공학과 E-MAIL: shjeong@gist.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)