기사
레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조 = Laser-induced chemical vapor deposition of tungsten micro patterns for TFT-LCD circuit repair
표제/저자사항 레이저 국소증착을 이용한 TFT-LCD회로 수정용 미세 텅스텐 패턴 제조 = Laser-induced chemical vapor deposition of tungsten micro patterns for TFT-LCD circuit repair / 박종복, 김창재, 박상혁, 신평은, 강형식, 정성호
형태사항 p. 165-173; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 8호(2005년 8월), p. 165-173 22:8<165 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 박종복, 광주과학기술원 대학원 기전공학과
저자: 김창재, LG 전자 생산기술원
저자: 박상혁, LG 전자 생산기술원
저자: 신평은, LG 전자 생산기술원
저자: 강형식, LG 전자 생산기술원
저자: 정성호, 광주과학기술원 기전공학과 E-MAIL: shjeong@gist.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로