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펄스형 진공 아크법에 의한 ZnO 박막의 상온합성 및 이의 전기적 특성에 미치는 산소분압비의 영향 = Room-temperature deposition of ZnO thin film by pulsed vacuum arc and effect of oxygen gas ratio on its electrical properties
표제/저자사항 펄스형 진공 아크법에 의한 ZnO 박막의 상온합성 및 이의 전기적 특성에 미치는 산소분압비의 영향 = Room-temperature deposition of ZnO thin film by pulsed vacuum arc and effect of oxygen gas ratio on its electrical properties / 신민근, 변응선, 이성훈, 김도근, 전상조, 구본흔
형태사항 p. 193-197; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 38권 5호(2005년 10월), p. 193-197 38:5<193 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 신민근, 창원대학교 나노·신소재공학부 E-MAIL: esbyon@kmail.kimm.re.kr
저자: 변응선, 한국기계연구원 표면기술연구센터
저자: 이성훈, 한국기계연구원 표면기술연구센터
저자: 김도근, 한국기계연구원 표면기술연구센터
저자: 전상조, 국방품질관리소 함정분소
저자: 구본흔, 창원대학교 나노·신소재공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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