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준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구 = (A)study on the structural dynamic design for sub-micro vibration control in high class semiconductor factory by semi-empirical method
표제/저자사항
준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구 = (A)study on the structural dynamic design for sub-micro vibration control in high class semiconductor factory by semi-empirical method / 이홍기, 백재호, 원영재, 박해동, 김두훈
형태사항
p. 1227-1233 ; 28 cm
주기사항
수록자료: 소음·진동. 한국소음진동공학회. 9권 6호(1999년 12월), p. 1227-1233 9:6<1227 상세보기 ISSN 1226-0924
저자: 이홍기, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 백재호, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 원영재, 금오공과대학교
저자: 박해동, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
저자: 김두훈, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
저자: 이홍기, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 백재호, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 원영재, 금오공과대학교
저자: 박해동, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
저자: 김두훈, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)