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준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구 = (A)study on the structural dynamic design for sub-micro vibration control in high class semiconductor factory by semi-empirical method
표제/저자사항 준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구 = (A)study on the structural dynamic design for sub-micro vibration control in high class semiconductor factory by semi-empirical method / 이홍기, 백재호, 원영재, 박해동, 김두훈
형태사항 p. 1227-1233 ; 28 cm
주기사항 수록자료: 소음·진동. 한국소음진동공학회. 9권 6호(1999년 12월), p. 1227-1233 9:6<1227 상세보기 ISSN 1226-0924
저자: 이홍기, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 백재호, 정회원, RMS Technology Co., LTD
저자: 원영재, 금오공과대학교
저자: 박해동, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
저자: 김두훈, 정회원, 유니슨산업 기술연구소
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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