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전극 구조에 관한 2차원 RF 플라즈마의 모델링 = Modeling of two-dimensional self-consistent RF plasmas on discharge chamber structures
표제/저자사항 전극 구조에 관한 2차원 RF 플라즈마의 모델링 = Modeling of two-dimensional self-consistent RF plasmas on discharge chamber structures / 소순열, 임장섭, 김철운
형태사항 p. 1-8 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 조명·전기설비학회논문지. 韓國照明·電氣設備學會. 19권 4호(2005년 6월), p. 1-8 19:4<1 상세보기 ISSN 1229-4691
저자: 소순열, 전남대학교 전기공학과 E-MAIL: janylim@mmu.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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