기사
DLTS법을 이용한 양성자 조사된 Si 반도체 소자내의 결함상태 분석 = Study on defect states in proton irradiated Si device using by deep level transient spectroscopy
표제/저자사항 DLTS법을 이용한 양성자 조사된 Si 반도체 소자내의 결함상태 분석 = Study on defect states in proton irradiated Si device using by deep level transient spectroscopy / 김재훈, 이동욱, 김은규, 김채옥
형태사항 p. 63-70 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 自然科學論文集-한양대학교. 漢陽大學校 自然科學硏究所. 24집(2004), p. 63-70 24<63 상세보기 ISSN 1226-1246
저자: 김재훈, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 이동욱, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 김은규, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 김채옥, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로