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RF magnetron sputtering 방법으로 성장된 ZnO 박막의 전기적 특성 연구 = Electrical characterization of ZnO film grown by RF magnetron sputtering method
표제/저자사항 RF magnetron sputtering 방법으로 성장된 ZnO 박막의 전기적 특성 연구 = Electrical characterization of ZnO film grown by RF magnetron sputtering method / 박지선, 김진석, 김은규, 이종현, 홍진표, 김채옥
형태사항 p. 23-28 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 自然科學論文集-한양대학교. 漢陽大學校 自然科學硏究所. 25집(2005), p. 23-28 25<23 상세보기 ISSN 1226-1246
저자: 박지선, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 김진석, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 김은규, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 이종현, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 홍진표, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 김채옥, 한양대학교 자연과학대학 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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