국가전거

저자 전거 검색

인쇄

기사

표제/저자사항 실리콘 산화막의 플라즈마 식각에 대한 표면반응 모델링 = Surface reaction modeling for plasma etching of SiO₂ thin film / 임연호

형태사항 p. 520-527 ; 29 cm

주기사항 수록자료: 화학공학. 한국화학공학회. 44권 5호(2006년 10월), p. 520-527 44:5<520 상세보기 ISSN 0304-128X
저자: 임연호, 전북대학교 화학공학부, 나노소재공정연구센터 E-MAIL: yeonhoim@chonbuk.ac.kr

출처 국립중앙도서관 바로가기

001KMO201509136

00520150303111639

007ta

008150107s2001 gak 100 kor

0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY

05201▼a470▼b15-3

056 ▼a470▼26

08201▼a570▼223

24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관

260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001

300 ▼a81 p. ;▼c30 cm

500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관

504 ▼a참고문헌 수록

650 8▼a생명 과학[生命科學]

650 8▼a생명론[生命論]

710 ▼a토지문화재단

710 ▼a한국생명윤리학회

710 ▼a토지문화관

9501 ▼a가격불명

담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)