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저압의 유기금속 화학증착법에 의해 성장된 Ta₂O₅ 박막의 계면물성 = Interfacial propeties of Ta₂O₅ thin films by LPMOCVD
표제/저자사항 저압의 유기금속 화학증착법에 의해 성장된 Ta₂O₅ 박막의 계면물성 = Interfacial propeties of Ta₂O₅ thin films by LPMOCVD / 김명호, 윤재홍, 이찬규, 박태곤
형태사항 p. 231-236 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 産技硏論文集. 昌原大學校 産業技術硏究所. 8집(1994년 6월), p. 231-236 8<231 상세보기
저자: 김명호, 재료공학과
저자: 윤재홍, 재료공학과
저자: 이찬규, 재료공학과
저자: 박태곤, 전기공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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