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반도체급 삼염화실란 중의 극미량 인의 분광광도법적 정량 = Spectrophotometric determination of traces of phosphorus in semiconductor-grade trichlorosilane
표제/저자사항 반도체급 삼염화실란 중의 극미량 인의 분광광도법적 정량 = Spectrophotometric determination of traces of phosphorus in semiconductor-grade trichlorosilane / 金東權, 韓明完, 金希永
형태사항 p. 255-260 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 대한화학회지. 대한화학회. 36권 2호(1992년 3월), p. 255-260 36:2<255 상세보기 ISSN 1017-2548
저자: 김동권, 한국화학연구소 화학공학연구부
저자: 한명완, 한국화학연구소 화학공학연구부
저자: 김희영, 한국화학연구소 화학공학연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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