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CHF₃ / C₂F₆ 반응성이온 건식식각에 의한 실리콘 표면의 변형에 관한 연구 = (A)Study on a silicon surface modification by CHF₃ / C₂F₆ reactive ion etching
표제/저자사항
CHF₃ / C₂F₆ 반응성이온 건식식각에 의한 실리콘 표면의 변형에 관한 연구 = (A)Study on a silicon surface modification by CHF₃ / C₂F₆ reactive ion etching / 박형호, 권광호, 곽병화, 이수민, 권오준, 김보우, 성영권
형태사항
p. 214-220 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 1권 4호(1991년 12월), p. 214-220 1:4<214 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 박형호, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 권광호, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 곽병화, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 이수민, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 권오준, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김보우, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 성영권, 고려대학교 전기공학과
저자: 박형호, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 권광호, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 곽병화, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 이수민, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 권오준, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김보우, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 성영권, 고려대학교 전기공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
