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DRAM 커패시터용 Ta₂O₅ 박막의 전기적 특성에 미치는 전극의존성 = (The)effects of electrode materials on the electrical properties of Ta₂O₅ thin film for DRAM capacitor
표제/저자사항
DRAM 커패시터용 Ta₂O₅ 박막의 전기적 특성에 미치는 전극의존성 = (The)effects of electrode materials on the electrical properties of Ta₂O₅ thin film for DRAM capacitor / 김영욱, 권기원, 하정민, 강창석, 선용빈, 김영남
형태사항
p. 229-235 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 1권 4호(1991년 12월), p. 229-235 1:4<229 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김영욱, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 권기원, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 하정민, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 강창석, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 선용빈, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 김영남, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 김영욱, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 권기원, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 하정민, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 강창석, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 선용빈, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
저자: 김영남, 삼성전자(주) 반도체부문 기반기술센타
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
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300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
