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NH₃가 Si 산화의 열유기 결함에 미치는 영향 = Effect of NH₃ on the induced defect in Si oxidation
표제/저자사항 NH₃가 Si 산화의 열유기 결함에 미치는 영향 = Effect of NH₃ on the induced defect in Si oxidation / 金榮祚, 金鐵柱
형태사항 p. 403-409 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 3권 4호(1993년 8월), p. 403-409 3:4<403 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김영조, 서울시립대학교 전자공학과
저자: 김철주, 서울시립대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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