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SiO₂위에 증착된 S$$i_{1-X}$$< / TEX>G$$e_X$$< / TEX> 합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구 = (A)study of the crystallinity and microstructure of the S$$i_{1-X}$$< / TEX>G$$e_X$$< / TEX> alloys deposited on the SiO₂ at various tempertures
표제/저자사항 SiO₂위에 증착된 S$$i_{1-X}$$< / TEX>G$$e_X$$< / TEX> 합금의 증착온도 변화에 따른 결정성 및 미세구조에 관한 연구 = (A)study of the crystallinity and microstructure of the S$$i_{1-X}$$< / TEX>G$$e_X$$< / TEX> alloys deposited on the SiO₂ at various tempertures / 김홍승, 이정용, 이승창, 강상원
형태사항 p. 416-427 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 4권 4호(1994년 6월), p. 416-427 4:4<416 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김홍승, 한국과학기술원 전자재료공학과
저자: 이정용, 한국과학기술원 전자재료공학과
저자: 이승창, 한국 전자통신연구소 반도체 연구단
저자: 강상원, 한국 전자통신연구소 반도체 연구단
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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