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급속열처리시 Ta-silicide 박막 형성에 미치는 불순물 인의 영향 = (The)effect of phosphorus on the formation of Ta-silicide film by RTA
표제/저자사항
급속열처리시 Ta-silicide 박막 형성에 미치는 불순물 인의 영향 = (The)effect of phosphorus on the formation of Ta-silicide film by RTA / 김동준, 강대술, 강성군, 김헌도, 박형호, 박종완
형태사항
p. 855-860 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 4권 8호(1994년 12월), p. 855-860 4:8<855 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김동준, 한양대학교 금속공학과
저자: 강대술, 한양대학교 금속공학과
저자: 강성군, 한양대학교 재료공학과
저자: 김헌도, 현대 전자(주)
저자: 박형호, 전자통신 연구소
저자: 박종완, 한양대학교 금속공학과
저자: 김동준, 한양대학교 금속공학과
저자: 강대술, 한양대학교 금속공학과
저자: 강성군, 한양대학교 재료공학과
저자: 김헌도, 현대 전자(주)
저자: 박형호, 전자통신 연구소
저자: 박종완, 한양대학교 금속공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
