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Taguchi 방법을 사용한 콘택 산화막 식각 공정 최적화 연구 = Studies on the optimization of contact oxide etching process using Taguchi method
표제/저자사항 Taguchi 방법을 사용한 콘택 산화막 식각 공정 최적화 연구 = Studies on the optimization of contact oxide etching process using Taguchi method / 전영진, 김창일, 구진근, 유형준
형태사항 p. 63-74 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 5권 1호(1995년 2월), p. 63-74 5:1<63 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 전영진, 한국전자통신연구소, 반도체연구단, 공정장비연구부
저자: 김창일, 한국전자통신연구소, 반도체연구단, 공정장비연구부
저자: 구진근, 한국전자통신연구소, 반도체연구단, 공정장비연구부
저자: 유형준, 한국전자통신연구소, 반도체연구단, 공정장비연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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