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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성 = Electrical properties of Al-doped ZnO transparent conducting thin films deposited by RF magnetron sputtering
표제/저자사항 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성 = Electrical properties of Al-doped ZnO transparent conducting thin films deposited by RF magnetron sputtering / 김진용, 이용의, 조해석, 이동헌, 김영진, 김형준
형태사항 p. 280-287 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 5卷 3號(1995년 5월), p. 280-287 5:3<280 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김진용, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 이용의, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 조해석, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 이동헌, 삼성코닝주식회사
저자: 김영진, 경기대학교 재료공학과
저자: 김형준, 서울대학교 무기재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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