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플라즈마 화학기상 증착법에 의한 B이 첨가된 ZnO 박막의 증착에 관한 연구 = Deposition of B-doped ZnO thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition
표제/저자사항 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 B이 첨가된 ZnO 박막의 증착에 관한 연구 = Deposition of B-doped ZnO thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition / 최준영, 조해석, 김영진, 이용의, 김형준
형태사항 p. 568-574 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 5卷 5號(1995년 8월), p. 568-574 5:5<568 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 최준영, 삼성코닝주식회사
저자: 조해석, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 김영진, 경기대학교 재료공학과
저자: 이용의, 서울대학교 무기재료공학과
저자: 김형준, 서울대학교 무기재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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