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Cu / CoSi₂ 및 Cu / Co-Ti 이중층 실리사이드의 계면반응 = Interfacial reactions of Cu / CoSi₂ and Cu / Co-Ti bilayer silicide
표제/저자사항 Cu / CoSi₂ 및 Cu / Co-Ti 이중층 실리사이드의 계면반응 = Interfacial reactions of Cu / CoSi₂ and Cu / Co-Ti bilayer silicide / 이종무, 이병욱, 김영욱, 이수천
형태사항 p. 1192-1198 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 6권 12호(1996년 12월), p. 1192-1198 6:12<1192 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 이종무, 인하대학교 금속공학과
저자: 이병욱, 인하대학교 금속공학과
저자: 김영욱, 삼성전자
저자: 이수천, 삼성전자
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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