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트렌치 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 = Formation of passivation layer and its effect on the defect generation during trench etching
표제/저자사항
트렌치 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 = Formation of passivation layer and its effect on the defect generation during trench etching / 이주욱, 김상기, 김종대, 구진근, 이정용, 남기수
형태사항
p. 634-640 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 8권 7호(1998년 7월), p. 634-640 8:7<634 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 이주욱, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김종대, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 구진근, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 이정용, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 남기수, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 이주욱, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 김종대, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 구진근, 한국전자통신연구원 반도체연구단
저자: 이정용, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 남기수, 한국전자통신연구원 반도체연구단
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
