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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거 = Removal of Fe impurities on silicon surfaces using remote hydrogen plasma
표제/저자사항
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거 = Removal of Fe impurities on silicon surfaces using remote hydrogen plasma / 이종무, 박웅, 전부용, 전형탁, 안태항, 백종태, 신광수, 이도형
형태사항
p. 751-756 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 8권 8호(1998년 8월), p. 751-756 8:8<751 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 이종무, 인하대학교 금속공학과
저자: 박웅, 인하대학교 금속공학과
저자: 전부용, 인하대학교 금속공학과
저자: 전형탁, 한양대학교 금속공학과
저자: 안태항, 한양대학교 금속공학과
저자: 백종태, 한국 전자통신 연구소
저자: 신광수, RIST
저자: 이도형, RIST
저자: 이종무, 인하대학교 금속공학과
저자: 박웅, 인하대학교 금속공학과
저자: 전부용, 인하대학교 금속공학과
저자: 전형탁, 한양대학교 금속공학과
저자: 안태항, 한양대학교 금속공학과
저자: 백종태, 한국 전자통신 연구소
저자: 신광수, RIST
저자: 이도형, RIST
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
