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Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구 = (A)study on the removal of Cu and Fe impurities on Si substrate
표제/저자사항 Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구 = (A)study on the removal of Cu and Fe impurities on Si substrate / 최백일, 전형탁
형태사항 p. 837-842 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 8권 9호(1998년 9월), p. 837-842 8:9<837 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 최백일, 한양대학교 금속공학과
저자: 전형탁, 한양대학교 금속공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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