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RuO₂ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구 = Thermal stability of RuO₂ thin film annealed at high temperature in oxygen atmosphere
표제/저자사항 RuO₂ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 관한 연구 = Thermal stability of RuO₂ thin film annealed at high temperature in oxygen atmosphere / 오상호, 박찬경, 백홍구
형태사항 p. 1090-1098 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 8권 12호(1998년 12월), p. 1090-1098 8:12<1090 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 오상호, 포항공과대학교 재료금속공학과
저자: 박찬경, 포항공과대학교 재료금속공학과
저자: 백홍구, 연세대학교 금속공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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