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N₂ 가스 flow에 의한 LPCVD 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 산소농도 저하 = Reduction of oxygen concentration in the LPCVD polysilicon films deposited by N₂ gas-flow method
표제/저자사항
N₂ 가스 flow에 의한 LPCVD 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 산소농도 저하 = Reduction of oxygen concentration in the LPCVD polysilicon films deposited by N₂ gas-flow method / 안승준, 정민호
형태사항
p. 269-273 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 9권 3호(1999년 3월), p. 269-273 9:3<269 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 안승준, 선문대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 정민호, 선문대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 안승준, 선문대학교 자연과학대학 물리학과
저자: 정민호, 선문대학교 자연과학대학 물리학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
