기사
금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 = (The)effect on the microroughness of Si substrate by metallic impurity Ca
표제/저자사항 금속 불순물 Ca이 Si 기판의 표면 미세 거칠기에 미치는 영향 = (The)effect on the microroughness of Si substrate by metallic impurity Ca / 최형석, 전형탁
형태사항 p. 491-495 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 9권 5호(1999년 5월), p. 491-495 9:5<491 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 최형석, 한양대학교 재료공학부
저자: 전형탁, 한양대학교 재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로