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분자선증착법으로 성장된 AlGaN 에피층의 표면 형상 분석 = Surface morphology study of A$$l_x$$< / TEX>G$$a_{1-x}$$< / TEX>N grown by plasma induced molecular beam epitaxy
표제/저자사항 분자선증착법으로 성장된 AlGaN 에피층의 표면 형상 분석 = Surface morphology study of A$$l_x$$< / TEX>G$$a_{1-x}$$< / TEX>N grown by plasma induced molecular beam epitaxy / 김제원, 최인훈, 박영균, 김용태
형태사항 p. 878-882 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 9권 9호(1999년 9월), p. 878-882 9:9<878 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김제원, 고려대학교 재료공학과
저자: 최인훈, 고려대학교 재료공학과
저자: 박영균, 한국과학기술연구원, 반도체연구실
저자: 김용태, 한국과학기술연구원, 반도체연구실
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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