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Sputtering법으로 제조된 tungsten nitride 박막의 저항변화에 미치는 급속 열처리 영향 = Effect of rapid thermal annealing on the resistivity changes of reactively sputtered tungsten nitride thin film
표제/저자사항
Sputtering법으로 제조된 tungsten nitride 박막의 저항변화에 미치는 급속 열처리 영향 = Effect of rapid thermal annealing on the resistivity changes of reactively sputtered tungsten nitride thin film / 이기선
형태사항
p. 29-33 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 10권 1호(2000년 1월), p. 29-33 10:1<29 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 이기선, 공주대학교 공과대학 신소재공학부
저자: 이기선, 공주대학교 공과대학 신소재공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
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500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
