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AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO₂ 박막의 표면형상에 관한 연구 = AFM studies on the surface morphology of Sb-doped SnO₂ thin films deposited by PECVD
표제/저자사항
AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO₂ 박막의 표면형상에 관한 연구 = AFM studies on the surface morphology of Sb-doped SnO₂ thin films deposited by PECVD / 윤석영, 김근수, 이원재, 김광호
형태사항
p. 525-531 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 10권 8호(2000년 8월), p. 525-531 10:8<525 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 윤석영, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과
저자: 김근수, 현대전자산업주식회사 공정기술팀
저자: 이원재, 한국전기연구소 신소재응용연구그룹
저자: 김광호, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과
저자: 윤석영, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과
저자: 김근수, 현대전자산업주식회사 공정기술팀
저자: 이원재, 한국전기연구소 신소재응용연구그룹
저자: 김광호, 부산대학교 공과대학 무기재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)