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게르마늄 prearmophization 이온주입을 이용한 티타늄 salicide 접합부 특성 개선 = Effects of the Ge preamorphization ion implantation on titanium salicide junctions
표제/저자사항
게르마늄 prearmophization 이온주입을 이용한 티타늄 salicide 접합부 특성 개선 = Effects of the Ge preamorphization ion implantation on titanium salicide junctions / 김삼동, 이성대, 이진구, 황인석, 박대규
형태사항
p. 812-818 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 10권 12호(2000년 12월), p. 812-818 10:12<812 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김삼동, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 이성대, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 이진구, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 황인석, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 박대규, 현대전자 산업주식회사 메모리 연구소
저자: 김삼동, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 이성대, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 이진구, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 황인석, 동국대학교 밀리미터파 신기술연구센터
저자: 박대규, 현대전자 산업주식회사 메모리 연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
