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In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성 = Properties of Ag thin films deposited in oxygen atmosphere using in-line magnetron sputter system
표제/저자사항 In-line 마그네트론 스퍼터 장치를 사용하여 산소 분위기에서 제작한 Ag 박막의 특성 = Properties of Ag thin films deposited in oxygen atmosphere using in-line magnetron sputter system / 구대영, 김원목, 조상무, 황만수, 이인규, 정병기, 이택성, 이경석, 조성훈
형태사항 p. 661-668 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 12권 8호(2002년 8월), p. 661-668 12:8<661 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 구대영, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 김원목, 한국과학기술연구원 재료연구부 E-MAIL: wmkim@kist.re.kr
저자: 조상무, 아이티엠 (주)
저자: 황만수, 아이티엠 (주)
저자: 이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 정병기, 한국과학기술연구원 재료연구부
저자: 이택성, 한국과학기술연구원 재료연구부
저자: 이경석, 한국과학기술연구원 재료연구부
저자: 조성훈, 아주대학교 분자과학기술과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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