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BCl₃ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 = Dry etching of GaAs in a planer inductively coupled BCI₃ plasma
표제/저자사항
BCl₃ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 = Dry etching of GaAs in a planer inductively coupled BCI₃ plasma / 임완태, 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, S.J. Pearton
형태사항
p. 266-270 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 13권 4호(2003년 4월), p. 266-270 13:4<266 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 정필구, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@inje.ac.kr
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 이주인, 한국표준과학 연구소 나노표면 그룹
저자: 조국산, (주)클라이오텐
저자: S.J. Pearton, Department of Materials and Eng. University of Florida
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 정필구, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@inje.ac.kr
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부/ 나노기술 응용연구소
저자: 이주인, 한국표준과학 연구소 나노표면 그룹
저자: 조국산, (주)클라이오텐
저자: S.J. Pearton, Department of Materials and Eng. University of Florida
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
