국가전거
저자 전거 검색
기사
BCl₃ 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 = High density inductively coupled plasma etching of InP in BCl₃-based chemistries
표제/저자사항
BCl₃ 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 = High density inductively coupled plasma etching of InP in BCl₃-based chemistries / 조관식, 임완태, 백인규, 이제원, 전민현
형태사항
p. 775-778 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 13권 12호(2003년 12월), p. 775-778 13:12<775 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@Inje.ac.kr
저자: 전민현, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@Inje.ac.kr
저자: 전민현, 인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
