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실리콘 및 사파이어 기판을 이용한 알루미늄의 양극산화 공정에 관한 연구 = Fabrication of anodic aluminum oxide on Si and sapphire substrate
표제/저자사항 실리콘 및 사파이어 기판을 이용한 알루미늄의 양극산화 공정에 관한 연구 = Fabrication of anodic aluminum oxide on Si and sapphire substrate / 김문자, 이진승, 유지범
형태사항 p. 133-140 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 14권 2호(2004년 2월), p. 133-140 14:2<133 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김문자, 나노튜브 및 나노복합구조체 연구센터
저자: 이진승, 성균관대학교 진공 및 반도체기술 연구소
저자: 유지범, 나노튜브 및 나노복합구조체 연구센터 E-MAIL: jbyoo@yurim.skku.ac.kr, zium98@hanmail.net
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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