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Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구 = Characteristic study for defect of top Si and buried oxide layer on the bonded SOI wafer
표제/저자사항
Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구 = Characteristic study for defect of top Si and buried oxide layer on the bonded SOI wafer / 김석구, 백운규, 박재근
형태사항
p. 413-419 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 14권 6호(2004년 6월), p. 413-419 14:6<413 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김석구, 한양대학교 Nano-SOI 공정 연구실 E-MAIL: sukgoo@ihanyang.ac.kr
저자: 백운규, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 박재근, 한양대학교 Nano-SOI 공정 연구실
저자: 김석구, 한양대학교 Nano-SOI 공정 연구실 E-MAIL: sukgoo@ihanyang.ac.kr
저자: 백운규, 한양대학교 세라믹공학과
저자: 박재근, 한양대학교 Nano-SOI 공정 연구실
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
