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중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구 = (A)study on the effect of plasma deuterium treatment on reliability of poly-silicon thin film transistors
표제/저자사항
중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구 = (A)study on the effect of plasma deuterium treatment on reliability of poly-silicon thin film transistors / 손송호, 배성찬, 김동환
형태사항
p. 516-521 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 14권 7호(2004년 7월), p. 516-521 14:7<516 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 손송호, 고려대학교 신소재공학과 E-MAIL: solar@korea.ac.kr
저자: 배성찬, 경북대학교 전자공학과
저자: 김동환, 고려대학교 신소재공학과
저자: 손송호, 고려대학교 신소재공학과 E-MAIL: solar@korea.ac.kr
저자: 배성찬, 경북대학교 전자공학과
저자: 김동환, 고려대학교 신소재공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)