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원자층 증착법으로 성장한 HfO₂ 박막의 제조 = Preparation of hafnium oxide thin films grown by atomic layer deposition
표제/저자사항
원자층 증착법으로 성장한 HfO₂ 박막의 제조 = Preparation of hafnium oxide thin films grown by atomic layer deposition / 김희철, 김민완, 김형수, 김혁종, 손우근, 정봉교, 김석환, 이상우, 최병호
형태사항
p. 275-280 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 15권 4호(2005년 4월), p. 275-280 15:4<275 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김희철, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김민완, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김형수, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김혁종, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 손우근, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 정봉교, LG. Philips Displays 설계실
저자: 김석환, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이상우, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 최병호, 금오공과대학교 신소재시스템공학부 E-MAIL: choibh@kumoh.ac.kr
저자: 김희철, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김민완, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김형수, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 김혁종, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 손우근, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 정봉교, LG. Philips Displays 설계실
저자: 김석환, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 이상우, 금오공과대학교 신소재시스템공학부
저자: 최병호, 금오공과대학교 신소재시스템공학부 E-MAIL: choibh@kumoh.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
