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Cu-CMP에서 alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 = Effect of alanine on Cu / TaN selectivity in Cu-CMP
표제/저자사항 Cu-CMP에서 alanine이 Cu와 TaN의 선택비에 미치는 영향 = Effect of alanine on Cu / TaN selectivity in Cu-CMP / 박진형, 김민석, 백운규, 박재근
형태사항 p. 426-430 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 15권 6호(2005년 6월), p. 426-430 15:6<426 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 박진형, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교
저자: 김민석, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교
저자: 백운규, 세라믹공학과, 한양대학교
저자: 박재근, Nano-SOI 공정 연구실, 한양대학교 E-MAIL: parkjgl@hanyang.ac.kr
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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