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연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성 = Characteristic of copper films on PET substrate deposited by cyclic operation of RF-magnetron-sputtering coupled with continuous operation of ECR-CVD
표제/저자사항
연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성 = Characteristic of copper films on PET substrate deposited by cyclic operation of RF-magnetron-sputtering coupled with continuous operation of ECR-CVD / 명종윤, 전법주, 변동진, 이중기
형태사항
p. 465-472 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 15권 7호(2005년 7월), p. 465-472 15:7<465 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 명종윤, 고려대학교 재료공학과
저자: 전법주, 한국과학기술연구원, 나노환경연구센터
저자: 변동진, 고려대학교 재료공학과
저자: 이중기, 한국과학기술연구원, 나노환경연구센터 E-MAIL: leejk@kist.re.kr
저자: 명종윤, 고려대학교 재료공학과
저자: 전법주, 한국과학기술연구원, 나노환경연구센터
저자: 변동진, 고려대학교 재료공학과
저자: 이중기, 한국과학기술연구원, 나노환경연구센터 E-MAIL: leejk@kist.re.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
