기사
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO₂ / Si(100)기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성 = Structural and optical properties of ZnO thin films grown on SiO₂ / Si(100) substrates by RF magnetron sputtering
표제/저자사항 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 SiO₂ / Si(100)기판위에 성장시킨 ZnO 박막의 구조 및 광특성 = Structural and optical properties of ZnO thin films grown on SiO₂ / Si(100) substrates by RF magnetron sputtering / 한석규, 홍순구, 김효진, 이재욱, 이정용
형태사항 p. 360-366 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 16권 6호(2006년 6월), p. 360-366 16:6<360 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 한석규, 충남대학교 재료공학과
저자: 홍순구, 충남대학교 재료공학과 E-MAIL: soonku@cnu.ac.kr
저자: 김효진, 충남대학교 재료공학과
저자: 이재욱, 한국과학기술원 신소재공학과
저자: 이정용, 한국과학기술원 신소재공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로