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산소 플라즈마를 이용하여 원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 형성된 하프늄 옥사이드 게이트 절연막의 특성 연구 = Characteristics of hafnium oxide gate dielectrics deposited by remote plasma-enhanced atomic layer deposition using oxygen plasma
표제/저자사항
산소 플라즈마를 이용하여 원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 형성된 하프늄 옥사이드 게이트 절연막의 특성 연구 = Characteristics of hafnium oxide gate dielectrics deposited by remote plasma-enhanced atomic layer deposition using oxygen plasma / 조승찬, 전형탁, 김양도
형태사항
p. 263-267 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 17권 5호(2007년 5월), p. 263-267 17:5<263 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 조승찬, 부산대학교 재료공학부
저자: 전형탁, 한양대학교 신소재공학부
저자: 김양도, 부산대학교 재료공학부 E-MAIL: yangdo@pusan.ac.kr
저자: 조승찬, 부산대학교 재료공학부
저자: 전형탁, 한양대학교 신소재공학부
저자: 김양도, 부산대학교 재료공학부 E-MAIL: yangdo@pusan.ac.kr
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
